本校流体科学研究所的寒川诚二教授，荣获美国真空学会会员表彰。这次成为获奖对象的业绩，是阐明了半导体器件制造中，关键技术的等离子刻蚀工艺对基板造成的损伤，并对可实现最小限度地抑制该损伤的高精度加工的方法提出了方案。

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