2010年 | 获奖·成果等
获奖应用物理学会第8届离子电子学奖 (流体科学研究所 寒川诚二 教授)
获奖应用物理学会第8届离子电子学奖 (流体科学研究所 寒川诚二 教授)
寒川教授的论文荣获本年度的应用物理学会离子电子学奖。该论文，是寒川诚二教授在2001年提出的检测离子照射损坏程度的晶片检测技术基础上，并在8英寸大小的硅基板上设置了晶片传感器，对实际量产离子蚀刻装置的电荷蓄积损坏量和电荷蓄积机制进行了详细的论述。
咨询处：东北大学流体科学研究所 寒川 诚二 教授
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