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成功开发了可以将软X线多层膜的掠入射镜反射波控制在0.1 nm 精度中的新技术 ~加速了 实现分辩率10nm的超高性能成像系统的开发~

东北大学多元物质科学研究所(所长:河村纯一教授)的津留俊英和羽多野忠助理研究员组成的研究小组,在实证试验中,成功实现了可将软X 线多层膜的掠入射镜向反射波控制在0.1 nm 精度中的新技术。

软X线是可视波长的1/10到1/100左右的短波长光,通常不能被"透镜"和"镜子"使用。不过,经过2种类物质交替堆积起来了的多层膜反射镜可以反射软X线。利用软X线和多层膜反射镜,可以得到高分辨率的扩大像和缩小像。因此此项技术的开发将主要被应用到显微镜和望远镜的关键组件上。

关于此项研究的详细内容,刊登在日本辐射光学发行的会刊「辐射光」的5月号封面中。本研究,是在独立行政法人科学技术振兴机构的产学革新加速事业尖端测量分析技术•机器开发项目的支援下进行的。

报纸发表原文PDF

[联系方式]
东北大学多元物质科学研究所
联系人: 助理研究员 津留俊英
助理研究员 羽多野忠
邮件地址: tsuru@tagen.tohoku.ac.jp
           hatano@tagen.tohoku.ac.jp
联系电话:  022-217-5330

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