本年の応用物理学会プラズマエレクトロニクス賞に寒川教授の論文が選出されました。本論文は、寒川教授が２００１年に提案したプラズマ照射ダメージをモニタリングするオンウエハモニタリング技術に関し、８インチサイズのシリコン基板上に作製したオンウエハセンサにより実際の量産プラズマエッチング装置での電荷蓄積ダメージ量とその電荷蓄積メカニズムについて詳細に議論したものです。

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