東北大学 多元物質科学研究所（所長：河村純一、以下「多元研」という）および原子分子材料科学高等研究機構（機構長：山本嘉則、以下「WPI」という）は、超臨界アンモニアを用いる「アモノサーマル法」による窒化ガリウム（GaN）結晶成長において、酸性鉱化剤の気相合成法を開発し、育成結晶中の残留酸素濃度が従来の100分の一以上低い窒化ガリウムバルク単結晶の高速育成に成功しました。更に、これを基板結晶として、歪のない窒化ガリウム結晶や、原子層オーダーで平坦かつ急峻な窒化アルミニウムガリウム（AlGaN）と窒化ガリウムのヘテロ接合のエピタキシャル成長にも成功し、ヘテロ界面に形成される二次元電子ガスを観測しました。

　アモノサーマル結晶育成とヘテロ構造の有機金属化学気相エピタキシャル(MOVPE)成膜技術は、東北大多元研・窒化物ナノエレクトロ二クス材料研究センターの石黒徹研究室、横山千昭研究室、秩父重英研究室とWPIの福田承生研究室が共同体制で開発してきたもので、本成果の一部は、2月末に終了したNEDO省エネルギー革新技術開発事業プロジェクトの成果です。

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多元物質科学研究所

教授　　秩父重英　 022-217-5360 

助教　　鏡谷勇二　 022-217-5101