2010년 | 수상·성과등
응용 물리학회 제 8회 Plasma Electronics상을 수상(유체과학 연구소 사무카와 세이지(寒川誠二) 교수)
올해의 응용 물리학회 Plasma Electronics상에 사무카와 세이지(寒川誠二) 교수의 논문이 선정되었습니다. 본 논문은 사무카와 세이지씨가 2001년에 제안한 Plasma 반사 데미지를 모니터링하는 온 웨워 모니터링 기술에 관해 8인치 사이즈의 실리콘 기반 위에 제작한 온 웨워 센사에 의해 실제 양산 Plasma 엣칭 장치에서의 전하 축적 데미지양과 그 전하 축적 메카니즘에 대해 상세히 기술하고 있습니다.
(연락처)
토호쿠 대학•유체과학 연구소
교수•사무카와 세이지(寒川誠二)
TEL: 022-217-5240, E-mail:samukawa@ifs.tohoku.ac.jp