2010년 | 수상·성과등
연X선 다층막 거울 형상의 흐트러짐을 0.1nm정밀도로 제어하는 기술 개발에 성공 ~해상도 10nm의 초고성능 결상계의 개발에 가속~
토호쿠 대학 다원물질 과학 연구소(소장:카와무라 준이치(河村純一) 교수)츠루 토시히데(津留俊英) 조교, 하타노 타다시(羽多野忠) 조교의 연구 그룹은 연X선 다층막 거울의 반사 파면을 0.1nm정밀도로 제어 가능한 새로운 기술의 실증 실험에 성공하였습니다.
연X선은 가시광의 파장의 1/10에서 1/100정도의 파장이 짧은 빛으로 통상의 렌즈나 거울로는 사용할 수 없는 빛인데 2종류의 물질을 교대로 쌓아 올린 다층막 거울은 연X선을 반사 시킬수 있습니다. 연X선과 다층막 거울을 사용하면, 높은 분해 능력을 가진 확대상이나 축소상을 얻을 수 있기에 현미경이나 망원경의 주요 부품으로서 개발이 진행되고 있습니다.
본 연구에 관한 상세한 내용은 일본 방사광학 발행의 회지「방사광」에 게재되어, 5월호의 표지를 장식합니다. 본 연구는 독립행정법인 과학기술 진흥기구 산학 이노베이션 가속사업 첨단계측 분석 기술・기구 개발의 지원 하에 이루어졌습니다.
발표문
[문의처]
토호쿠 대학 다원물질 과학 연구소
담당자: 조교 츠루 토시히데(津留俊英)
조교 하타노 타다시(羽多野忠)
tsuru*tagen.tohoku.ac.jp (*를 @로 바꾸어 주시기 바랍니다)
hatano*tagen.tohoku.ac.jp (*를 @로 바꾸어 주시기 바랍니다)
TEL: 022-217-5330
