동북대학 유체과학 연구소의 이시모토 준(石本 淳) 준교수와 사무카와 세이지(寒川 誠二) 교수 연구팀은 반도체 소자 제조에 있어 필수적인 세정 과정에서 유해 물질을 필요로 하지 않는 신기술을 개발 하였습니다.

현재 플라즈마를 비추는 과정과 유해한 약제를 사용하는 세정의 두 가지 과정을 고체 질소의 미립자를 분사하여 칠하는 하나의 과정으로 대치합니다.

본 기술은 세정 프로세스에 있어 플라즈마를 비추는 과정에 의한 배선의 손상을 회피하고, 특히 산소 래디컬에 의해 손상을 입기 쉬운 디바이스에 대해 유효하여 환경 조화형 친환경 세정 기술로서 주목받고 있습니다.

상세(일본어)

문의처:

유체과학 연구소 부속 유체 융합 센터 실사상(実事象: 실제 표면에 나타난 현상) 융합 계산 연구 분야

준교수 이시모토 준(石本 淳)

전화: 022-217-5271　

mail：ishimotojun*ieee.org(*를 @로 바꿔 주시기 바랍니다)

URL: http://alba.ifs.tohoku.ac.jp/