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軟X線多層膜ミラー形状の乱れを0.1nm精度で制御する技術の開発に成功~解像度10nmの超高性能結像系の開発を加速~

東北大学 多元物質科学研究所(所長:河村純一教授) 津留俊英助教、羽多野忠助教の研究グループは、軟X 線多層膜ミラーの反射波面を0.1 nm 精度で制御できる新しい技術の実証実験に成功しました。

 

軟X 線は可視光の波長の1/10 から1/100 程度の波長が短い光で、通常の“レンズ”や“ミラー”が使えない光ですが、2 種類の物質を交互に積み上げた多層膜ミラーは軟X 線を反射させることができます。軟X 線と多層膜ミラーを用いれば、高分解能な拡大像や縮小像を得ることができるため、顕微鏡や望遠鏡のキーコンポーネントとして開発が行われています。

 

本詳細については、日本放射光学発行の会誌「放射光」に掲載され、5 月号の表紙を飾りました。本研究は、独立行政法人科学技術振興機構 産学イノベーション加速事業 先端計測分析技術・機器開発の支援のもとに行われました。

 

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[お問い合わせ先]

東北大学 多元物質科学研究所

担当者: 助教 津留俊英

助教 羽多野忠

tsuru*tagen.tohoku.ac.jp (*を@に置き換えて下さい)

hatano*tagen.tohoku.ac.jp (*を@に置き換えて下さい)

TEL: 022-217-5330

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