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遷移金属や磁性体の高精度無損傷化学反応エッチング技術の開発に成功

東北大学・原子分子材料科学高等研究機構(AIMR)および流体科学研究所(IFS)の寒川誠二教授の研究グループは、次世代のデバイスといわれるMRAMの実用化に道を拓く技術として、酸化と金属錯体反応を同時に実現する装置を開発することで、これまで困難であった遷移金属や磁性体膜の高精度で超低損傷なエッチングに世界で初めて成功しました。

本研究成果は、2014年6月9日-12日に開催される2014年VLSIテクノロジー回路シンポジウム(2014 International Symposium on Technology and Circuit)にてSession 6.5で谷勛(Xun Gu)博士から発表されます。

 

詳細(原子分子材料高等研究機構ウェブサイト)

プレスリリース本文PDF

 

問い合わせ先

<研究に関すること>
東北大学原子分子材料高等研究機構
東北大学流体科学研究所未到エネルギー研究
センターグリーンナノテクノロジー研究分野
教授  寒川 誠二(サムカワ セイジ)
〒980-8577 仙台市青葉区片平2丁目1番1号
Tel/Fax:022-217-5240
Email:samukawa*ifs.tohoku.ac.jp(*を@に置き換えてください)

<JST復興促進センターに関すること>
科学技術振興機構 JST復興促進センター
櫻間 宣行(サクラマ  ノリユキ)、松澤  義朗(マツザワ  ヨシロウ)
〒980-0811 仙台市青葉区1番町4丁目6番1号 仙台第一生命タワービルディング20階
Tel:022-395-5712
Fax:022-395-5830
E-mail:fukkou*jst.go.jp(*を@に置き換えてください)

<報道担当>
東北大学原子分子材料科学高等研究機構(AIMR)
広報・アウトリーチオフィス
中道 康文(ナカミチ ヤスフミ)
Tel:022-217-6146
Email:outreach*wpi-aimr.tohoku.ac.jp(*を@に置き換えてください)

科学技術振興機構 広報課
Tel:03-5214-8404
Fax:03-5214-8432
E-mail:jstkoho*jst.go.jp(*を@に置き換えてください)

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