2026年 | ニュース
文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）事業の令和7年度「秀でた利用成果」で優秀賞を受賞
文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）事業において、本学マイクロシステム融合研究開発センター（µSIC）の研究員らが開発を支援した成果が、同事業の令和7年度「秀でた利用成果」優秀賞を受賞しました。
表彰は1月28日に東京ビッグサイトで開催された第25回国際ナノテクノロジー総合展・技術会議（nano tech 2026）内の「ARIM：令和7年度秀でた利用成果発表会・表彰式」にて行われました。
受賞課題｜「サブミリ秒X線トモグラフィのためのX線光学素子の開発」
対象の成果
国際放射光イノベーション・スマート研究センター 矢代航教授らによる「サブミリ秒X線トモグラフィのためのX線光学素子の開発」
支援内容
世界最速のサブミリ秒時間分解能（空間分解能10 µm）を実現するX線CTを可能にするための放射光マルチビーム化X線光学素子の開発において、本学µSICの試作コインランドリ*は、微細加工技術であるフォトリソグラフィやSi Deep-RIEなどを支援致しました。
成果の概要
微細加工技術を用いて作製した素子を用いて、矢代教授らは、3GeV高輝度放射光施設ナノテラスなどにおいて、試料を回転させないサブミリ秒時間分解能Ｘ線CTに成功しました。開発されたＸ線CT装置の観察対象は、材料破壊、機械加工、生きた生物、流体の挙動など広範にわたり、学術研究から産業応用まで様々な波及効果が期待されています。
*試作コインランドリ：東北大学西澤潤一記念研究センターにある、時間単位で使える国内最大級の微細加工共用施設で、経験豊富な14名を超える技術支援スタッフが研究開発を全面的にサポートしています。
問い合わせ先
マイクロシステム融合研究開発センター 支援室
TEL：022-229-4113
Email：micro-shien*grp.tohoku.ac.jp（*を@に置き換えてください）
